我國臭氧技術起步較晚，上世紀70年代中期，國內開始進行臭氧技術的研究開發；90年代，隨著礦泉水、純凈水臭氧消毒技術的推廣應用，醫藥行業采用臭氧進行空氣殺菌處理，以及小型家用臭氧發生器的應用，促進了我國臭氧行業的發展。

2000年后，我國工業用大型臭氧設備制造技術的研究取得大量成果，在臭氧放電管、熔斷器、中高頻電源等大型臭氧發生器制造的關鍵技術取得重大突破，相繼研制成功的3kg/h、10kg/h、20kg/h、50kg/h、80kg/h、100kg/h、120kg/h等大型中頻臭氧發生器，將中國臭氧技術逐步提升到先進水平。

2010年，《水處理用臭氧發生器CJ/T322-2010》的實施，使我國臭氧發生器標準與先進標準接軌，對我國臭氧行業整體技術水平的提升和市場的規范起到重要作用。

經過多年的發展，我國的臭氧系統設備制造技術水平和市場規模有了很大提高，并在市政給水、市政污水、工業廢水、煙氣脫硝、精細化工、泳池消毒、空間消毒、飲料食品等行業得到廣泛應用。隨著我國經濟快速發展和環境保護力度的加強，臭氧行業將迎來一個高速發展的時期。

但我國臭氧行業還需進一步完善和規范。首先，產品規格和性能指標需進一步提高，以滿足市場對大型、高性能臭氧設備的需求；其次，臭氧設備的集成度、

系統配套水平和系統控制水平有待提高，應用技術研發需加大投入，拓展臭氧應用領域，尋求更大市場空間；市場競爭有待進一步規范，避免中、小型臭氧發生器低端市場的惡性競爭局面，鼓勵臭氧設備制造企業積極參與市場的競爭。